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D-015PI電容式位移傳感器Physik Instrumente

PI電容式位移傳感器Physik Instrumente，電容（電容式）位移傳感器是測量、高動態(tài)納米計量器件，可提供高的線性度和精度。PI電容傳感器/信號調(diào)理器電子元件利用高頻交流激勵信號來增強帶寬和無漂移測量穩(wěn)定性（可以在幾個小時內(nèi)實現(xiàn)亞納米級穩(wěn)定性）。為了提供精度等級更高、分辨率優(yōu)于一納米的納米定位系統(tǒng)，PI開始開發(fā)電容式位置傳感器件。

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